東北大学 東北大学 大学院工学研究科・工学部 化学・バイオ系

応用化学専攻 応用化学専攻 - 原子・分子制御工学講座 DEPARTMENT OF APPLIED CHEMISTRY - MORECULAR MATERIALS DESIGN

薄膜・界面の真空工学

薄膜・界面の真空工学

試験管やフラスコを用いない新しいナノケミストリー: 気相,液相,固相中での化学反応や相界面での物質輸送・相変化を利用した真空技術をベースにした薄膜・界面の新しい原子・分子制御の学理に取り組んでいます。よって,電子・情報・環境・エネルギー技術に資する新材料・デバイスの創製を目指します。

薄膜・界面の真空工学

主な研究テーマ

機能性薄膜の合成とデバイス化

真空環境下で,レーザーを用いた真空蒸着法(気体→固体)により,様々な機能性酸化物やナノ相分離薄膜,SiCや低分子有機半導体,高分子薄膜の合成とそのデバイス化に取り組んでいます。特に液相を介した真空蒸着法(気相→液相→固相)は,世界をリードする独自技術で,最高品質の薄膜・結晶成長を実現しています。

機能性薄膜の合成とデバイス化
ナノイオン液体の創製技術とその応用

真空中でも蒸発しない,イオン液体。環境にやさしい有機溶媒として,リチウムイオン電池の電解質として近年注目されています。当研究室では,真空蒸着法により,ナノサイズのイオン液体の液滴や液膜を作る新しい技術(気相→液相)を開発しています。ナノイオン液体のイオン伝導や粘性等の基礎物性に興味が持たれます。

ナノイオン液体の創製技術とその応用
ナノ相界面の評価技術の開発

飽和溶液からの塩の析出や電気化学反応など,固体結晶(固相)と溶液(液相)との間の化学反応をナノレベルで理解することは重要です。当研究室では,真空技術と組み合せた,真空電気化学や高温真空レーザー顕微鏡などの独自技術を開発し,固液界面のナノレベルの理解に挑戦しています。

ナノ相界面の評価技術の開発